Annons
Annons
Annons
Annons
Annons
Annons
Annons
Annons
Komponenter |

Infineon klarar nästa dekads behov

Infineon Technologies har demonstrerat att dagens teknologi för IC förbindning kan användas för chiptillverkning fram till år 2011-2014.

Forskare på Infineon har framgångsrikt framställt metalltrådar med en diameter på 40 to 50nm, inbäddade i spår på en dielektrisk film som används som isolator. Sådana täta förbindningar används för de kortaste förbindningarna mellan transistorer i ett chip. Vid kontroll var tillräckligt låg resistans uppmätt för alla aktuella längder. Detta sägs visa att varken tillverkning av dessa ultratunna ledare eller dess resistans ska vara ett tekniskt problem i den fortsatta utvecklingen av mindre chips. Litografiska verktyg för tillverkning av framtidens chips inom en vy av år 2011- 2014 finns inte ännu. Infineon har tagit sig förbi detta problem genom att använda en 'spacerteknik' för att minska masköppningar för överföring av mönster till filmen. Detta medger produktion av strukturer med laterala dimensioner långt under de elementstorlekar som kan uppnås med dagens mest avancerade litografiska tillverkningsutrustning. Källa Infineon

Annons
Annons
Visa fler nyheter
2024-03-28 10:16 V22.4.20-1
Annons
Annons