Elektronikproduktion |
Chalmers köper Aixtron Nanotube-system
Aixtron meddelade i dag att de fått en order på en 2-tums AIXTRON FoU CNT * system från Chalmers Tekniska Högskola, under fjärde kvartalet 2008.
Denna kombinerade termiska och plasmaförstärkta CVD-reaktor planeras att levereras under första kvartalet 2009 och kommer att användas för deponering av CNT för micro-coolers, kisel-vior (TSV), sensorer på CMOS och andra nanokomponenter.
* CNT = Carbon Nano Tubes
