AlixLabs lanserar Sax Forma – sitt första kommersiella utrustningssystem
Lundabaserade AlixLabs har lanserat Sax Forma, bolagets första kommersiellt tillgängliga utrustningsplattform för Atomic Pitch Splitting, APS. Lanseringen markerar övergången från teknologivalidering till kundengagemang och industriell driftsättning.
APS är en kompletterande mönsterbildningsteknik som infogas nedströms i etablerade litografibaserade processflöden – DUV, EUV och nanoimprint – och ökar mönsterdensiteten utan att kräva en ny litografiplattform. Metoden möjliggör kontrollerad halvpitchreducering i täta, linjebaserade mönsterlager utan upprepade spacer-baserade processloop, enligt ett pressmeddelande från bolaget.
På Intel-testsilikon reducerade APS halvpitchen från 25 till 12,5 nanometer – geometrier relevanta för 3-nanometerklassen. I laboratoriemiljö har AlixLabs också visat att sekventiell APS-bearbetning kan möjliggöra ytterligare halvpitchreducering, mot 2-nanometer och ångströmnoder och bortom det.
Sax Forma industrialiseras tillsammans med VDL ETG Projects, som stödjer övergången från avancerad FoU till industriell utrustning.
– Med Sax Forma tar vi APS från validerad teknologi till en kommersiellt tillgänglig utrustningsplattform. Det är ett viktigt steg när vi fördjupar kundengagemanget kring hur APS kan integreras i befintliga tillverkningsflöden, säger Jonas Sundqvist, vd för AlixLabs.
Sax Forma lanseras som bolagets Beta-system för kundutvärdering och validering i produktionsnära miljöer, och utgör grunden för den planerade Gamma-plattformen med sikte på 2028.
