GF: 80 procent kortare sköljtid vid avancerad halvledartillverkning
Schweiziska GF har lanserat ett nytt rörsystem, SYGEF Ultra, tillverkat av högren PEEK-plast för transport av ultrarent vatten i halvledarfabriker. Tester visar att systemet minskar sköljtiden med omkring 80 procent jämfört med etablerade system i högren PVDF.
SYGEF Ultra är utvecklat för användning i avancerade halvledarfabriker där kraven på renhet är höga. Även mycket små mängder föroreningar i processvattnet kan påverka tillverkningsprocessen och utbytet av fungerande chip.
Rörsystemet bygger på PEEK-HP, en högpresterande polymer med bland annat hög temperatur- och kemikalieresistens. Enligt GF har materialet låga nivåer av ämnen som kan lösas ut från materialet och en slät invändig yta.
Systemet är utvecklat för att överträffa kraven i SEMI F57-standarden för högrena polymersystem för distribution av ultrarent vatten.
Kortare driftsättning
Tester visar enligt GF att SYGEF Ultra kan nå den specificerade vattenkvaliteten inom några dagar och minska sköljtiden med omkring 80 procent jämfört med högrena PVDF-system. SYGEF Ultra har en förväntad livslängd på minst 25 år under avsedda driftförhållanden.
GF erbjuder även projektering, konstruktionsstöd, förtillverkning och installationstjänster kopplade till systemet. Lösningen kan användas för både uppvärmda och rumstempererade system för ultrarent vatten.
SYGEF Ultra blir en del av GF:s befintliga produktutbud för mikroelektronik, som även omfattar rör, ventiler, kopplingar och andra komponenter för transport av ultrarent vatten och andra kritiska vätskor i halvledarfabriker.
Ett alternativ till fluorbaserade material
GF lyfter även fram PEEK som ett alternativ till fluorbaserade material i högrena system. Företaget beskriver PEEK-materialet i SYGEF Ultra som icke-PFAS enligt OECD:s definition, samtidigt som GF påpekar att hela rörsystemet inte kan betraktas som PFAS-fritt eftersom vissa tätningar och packningar kan bestå av fluorbaserade material som FKM och PTFE.
EU skärper samtidigt regleringen och övervakningen av PFAS. Enligt EU-kommissionen innebär det reviderade industriutsläppsdirektivet bland annat rapporteringskrav för PFOA och PFHxS samt deras salter från och med 2028.
