Elektronikproduktion |
OSEO ger 9,9 miljoner euro i stöd till Replisaurusprojekt
Franska OSEO har utfärdat ett stödpaket på 9,9 miljoner euro till ett samarbetsprojekt kallat Cuivre (franska för koppar). Projektet kommer att pågå tre år och syftar till att möjliggöra en förenkling av metalliseringssteg inom mikroelektroniktillverkning, och att samtidigt förbättra elektrisk prestanda.
Cuivre-projektet, som är certifierat av Minalogic Competetive Cluster, syftar till att att stödja utveckling av en ny process för deponering av kopparmönster på kiselskivor, kallad ECPR. I processen, som utvecklats av svenska Replisaurus Technologies i Kista, används en elektrokemisk metalliseringsteknik som ger ett enklare sätt att skapa kopparmönster och vissa typer av komponenter, medan den samtidigt säkerställer bättre formfaktorer och ökad geometrisk noggrannhet.
Den nya och miljövänliga tekniken utgör ett direkt svar på förändringar inom halvledarmarknadens behov tack vare enhetligheten i det deponerade mönstret, en minskning av kostnaderna, antalet och komplexiteten i metalliserings- och processtegen.
Målet med forskningsprogrammet är att visa stabila processprestanda och industriell tillämpbarhet genom att effektivt integrera det i ett faktiskt tillverkningsflöde.
Claude Pinault, chef för Industrial Strategic Innovation Program förklarar att "stödet till Cuivreprojektet ingår i ISI-programmet, som syftar till att stödja samarbetsprojekt som innehåller minst två franska företag, och som bidrar till skapa eller förstärka ny europeisk världsledarskap. Projektet var idealiskt när det matchades med de fastställda kriterierna. Vi är mycket glada att kunna bidra till utvecklingen av programmet som vi anser vara mycket lovande."
Cuivreprojektet sammanför två företag - SET och Replisaurus Mastering, CEA-Leti-institutet och fyra andra större industriledare.
Replisaurus Mastering kommer i samarbete med CEA-Leti att utveckla mastern, det vill säga elektroden som utgör negativet för kopparmönstret som skall deponeras. Guido Groet, vd för Replisaurus Mastering anser att "ECPR är en teknik med enorma fördelar för alla halvledarföretag runt om i världen. Styrkan i tekniken ligger i de tekniskt avancerade funktionerna å ena sidan och skönheten enkelheten å den andra. Vi är hedrade att ha blivit utvalda av OSEO, och ser fram emot att utveckla denna teknik vidare med våra partners och marknadsföra den framgångsrikt."
SET - Smart Equipment Technology - är en ledande aktör i detta projekt och ansvarar för tillverkningen av ECPR-modulen, som extremt noggrant passar master och wafer till varandra.
Den sista fasen av Cuivre-projektet syftar till att visa industriell tillämpning av tekniken genom att integrera metalliseringsprocessen i ett faktiskt produktionsflöde.
