Svensk Elstandard vill standardisera MEMS

I själva verket är det de senaste årens utveckling av MEMS och av de ingående mikromekaniska komponenterna som ligger bakom många av de nya tekniska funktioner som vi vant oss vid i vardagen, skriver Svensk Elstandard. För att få en enhetlig jämförelse mellan olika fabrikat och metoder, finns det en internationell standard, IEC 62047, för provning av de olika material som ingår i dessa komponenter, där olika delar av standarden behandlar olika provningar. IEC 62047 fastställs också som svensk standard SS-EN 62047 av SEK Svensk Elstandard. I standarden ingår också några delar som behandlar provning av kompletta mikromekaniska komponenter, t ex elektroniska kompasser (SS-EN 62047-19). Den delen fastställdes som svensk standard i december, liksom SS-EN 62047-11 för bestämning av längdutvidningskoefficienten och SS-EN 62047-18 för böjprovning av tunnfilmsmaterial. Delar på gång behandlar bland annat draghållfasthet hos ledande film på flexibla substrat och bestämning av Poissons-tal för tunnfilmsmaterial. Arbetet med IEC 62047 sker i den tekniska kommittén SC 47F, Micro-electromechanical systems, inom IEC, den internationella organisationen för standardisering på det elektrotekniska området.