© Picosun
Elektronikproduktion |
Fraunhofer väljer ALD-system från Picosun
Picosun har fått en order från Fraunhofer ISIT gällande Atomic Layer Deposition-systemet P-300B.
Kunden ska använda systemet som en så kallad ”powder MEMS”-plattform för att skapa tredimensionella mikrostrukturer från ett flertal material på ”wafer-nivå”.
Teknologin kan användas för olika applikationer, till exempel mikroelektronik, MEMS-sensorer, MEMS-ställdon och mikrovätskor. Den möjliggör exempelvis integrering av porösa och magnetiska 3D-mikrostrukturer på wafernivå, säger Dr. Björn Gojdka, gruppledare på Fraunhofer ISIT, i ett pressmeddelande.