Viktiga steg in i nanovärlden

Genom ett anslag på 24 Mkr från Wallenbergstiftelsen har Electrumlaboratoriet kunnat investera i modern utrustning. Pengarna har gått till Kista Photonics Research Center där KTH och Acreo samverkar, och utrustningen har placerats i Electrumlaboratoriet. Electrumlaboratoriet kan nu göra noggrannare karakterisering på nanometernivå. Utrustningen för s.k. "scanning probe"-mikroskopi kan numera mäta egenskaper såsom kapacitans, ström och ytpotential med en upplösning på 10 nanometersnivå. Den nya utrustningen för nanoimprint gör att man mycket snabbare och enklare kan tillverka halvledarkretsar. Den kan också användas för att skapa nanostrukturer i sensorer för biologiska eller kemiska tillämpningar. Istället för det tidsödande arbetet att etsa och rita in strukturerna med hjälp av elektronstrålar, kan man nu enkelt "stämpla" eller trycka strukturen på halvledaren eller på önskat material. Det är en produktionsmetod som blir avsevärt billigare – man räknar med en tiondel av kostnaden jämfört med traditionella metoder. Utöver den nya utrustningen har befintliga maskiner och processer moderniserats. Bl a har en maskin för torretsning byggts om så att den kan hantera flera gaser. Därmed kan vi också etsa i andra material såsom t ex galliumarsenid (GaAs), indiumfosfid (InP) och galliumnitrid (GaN). Electrumlaboratoriet är ett av de ledande forskningslaboratorierna i Europa för nano- och mikrofabrikation. Här utvecklar forskare inom både akademi och näringsliv framtidens mikroelektronik.